713 搞出光刻机，挺直腰杆子（4k）
重生千禧大玩家正文卷713搞出光刻机，挺直腰杆子“狼烟起，江山北望……” 酒店里，喝到烂醉如泥的高媛媛被手机铃声吵醒，迷迷糊糊地抬头找了找，声音来自床头柜上的手机，但手机的主人，不见踪影。 “阿飞。” 高媛媛强撑着下床，走路绵软无力。 “我在这儿。” 陆飞打开浴室的大门，坦荡地冲她笑了下，接过手机，“喂、欣姐。” 高媛媛洗了把脸，然后脱掉衣服，走进淋浴间冲洗自己，流水声哗哗作响。 “好，好，10点我就出发。” 陆飞坐在浴缸里，悠悠道：“欣姐，TVB这边，就麻烦你陪媛媛处理了。” 高媛媛听到这话，精神大振，竖起耳朵。 “……欧洲那边，不用担心，我已经让布洛森24小时盯着，任何风吹草动都要汇报。” 陆飞抹了一把脸。 希腊的国债评级又被惠誉和标准普尔下调，降到了垃圾级，已经到了必须欧盟兜底的地步，终于把债务危机扩散到整个欧元区。 收割欧洲的时刻，马上就要到了！ 等两人聊完挂断电话，高媛媛才走出玻璃隔断，幽幽说：“阿飞，我今天就不送你去机场了，唔，有点不舒服。” “谁让你昨天喝了那么多酒。” 陆飞抓着她的手，拉入浴缸里。 心疼之余，不得不感慨高媛媛醉得真是时候，而且还不省人事，要不然也不能给自己创造机会，夜里能跟曾丽单独庆祝封后之喜。 大满贯最好的奖励，自然也是大满灌。 ”下次不会了。” 高媛媛意味深长地白了眼，“曾丽姐她们有没有跟你说今天坐你的飞机去鹏城。” “说了……吗，我怎么不知道。” 陆飞一个激灵。 “那我现在跟你说，你不会介意吧？” 高媛媛得留下来，跟徐欣完成TVB最后的收购签约仪式，杨蜜、景恬则继续自己的好莱坞征程，而曾丽、刘师师她们回内地。 “怎么会。” 陆飞笑道：“不过我听说师师拍完《步步惊心》之后，状态不对，有没有这回事？” “蜜蜜、恬恬她们跟你说的吧。” 高媛媛点了下头，“师师可能陷进角色里还没有出来，对吴奇龙的感情有点复杂。” “这可不符合我们‘四小花旦’的造星计划。”陆飞一本正经地说。 “放心吧，虹姐已经警告过吴奇龙团队。”高媛媛靠在他的怀里，“早餐叫了吗？没有的话，吃了再走吧。” “当然吃了再走，不过呢，先吃你！” 陆飞嘿然一笑，“把昨天的夜宵补上。” “呜呜呜～” 跟曾丽她们暂时分别，陆飞坐上车，马不停蹄地赶到逻辑，孙红军早就在门口等候。 “他们人呢？” “陆总，都在中心呢。” 一行人驱车来到僻静的三体实验基地，沿途布满了安保人员，路的尽头是一间占地上万亩的新建厂房，表面看上去，非常不起眼。 一下车，来到换装间，陆飞就看到已经穿着防尘服的梁孟松、尹志尧，以及职工。 苏姿丰、胡煜华、孟婉舟这些逻辑的上将，即便半步踏入轮值董事会，也没有资格第一时间参观，消息还封锁在最高统帅部一级。 “陆总。” 梁孟松、尹志尧等人喊了一声。 “走吧。” 陆飞换好装备，穿过走廊，墙壁上挂着华夏第一枚原子弹跟氢弹的当天报纸和照片。 头顶，悬挂着一条条横幅，都是激励士气的口号语，其中最显眼的莫过于—— “搞出光刻机，挺直腰杆子！” “陆总，这就是我们自主研发的65nmArF干式光刻机，由逻辑、沪市微电子、长春光机、华为等多家单位、上千家供应商联合攻克，下一步就是预生产，在生产中不断改进完善，然后逐步实现量产化。” 孙红军兴奋至极，“预计一到两年，就能全部替代掉ASML和尼康的65nm光刻机。” “还是自己的机器香啊！” 陆飞透过玻璃，看着工作人员有条不紊地cao作，余光里注意到尹志尧等人的情绪很不对劲，“这么难得的好日子，你们怎么看上去不是很高兴啊，难道是光刻机还有什么质量上的问题，或者技术上的缺陷？” “陆总，设备没有问题，技术也没有问题，就是……就是有一个坏消息……” 尹志尧一脸为难。 “什么坏消息？” 陆飞鼓励道：“没关系，说出来，不说出来，我们又怎么想办法解决呢？” “陆总，ASML研发出了全球第一台EUV光刻机，已经送到三星的研究机构预生产。” 尹志尧无奈地叹了口气。 “你看你，又急。” 陆飞挑了挑眉，倍感意外，这么凑巧！ EUV光刻机的出现，相当于光刻机技术和设备正式发展到第五代，遥遥领先于他们。 第一代光刻机是以436nm的g-line汞灯光源为主，只适用于5μm以上制程。 之后出现了365nm的i-line汞灯光源的第二代光刻机，制程精度来到了350到500nm。 这两代都只能算是接近式光刻机，到了第三代扫描投影式光刻机，才实现了跨越式的突破，把最小工艺推进至150到250nm。 他们生产的65nmArF干式光刻机，算是第四代，也就是步进式投影式光刻机，制程工艺最高可以推进到65nm，想要更上一层—— 就得用到浸入技术，也就是让镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中，在此基础上，就有了四代半的浸入步进式投影式光刻机。 本来，逻辑跟ASML这些国际一线的光刻机厂商，就只剩ArFi这么个半代差距。 但EUV光刻机一出现，又把这个差距拉到了至少1.5代，而且这个技术差距，不像制程工艺那么好追，是整个产业链的全面落后。 “不是我急，陆总，一旦EUV预生产成功的话，英特尔、三星、台积电也许不出三五年，就能得到EUV光刻机的生产线……” 尹志尧话里无不透着焦虑。 “尹教授，这台EUV，ASML、三星、英特尔、蔡司、台积电它们花了多久才研制出来？”陆飞透过面罩的玻璃，直直看去。 “从林本坚提出浸润式微影技术的理论，到现在，大概十三、十四年。” 梁孟松站出来回答。 “对嘛，这不就结了。” 陆飞拍了拍尹志尧的肩膀，“EUV集欧美日韩这么多全球最顶尖的半导体公司和人才，也要花13年的时间，何况是我们呢！” “陆总说的没毛病！” 孙红军机敏地当捧哏。 “咱们研究起步晚，技术经验积累少，人才还不够不精，再加上特么的技术封锁，能在这么短的时间，攻克65nmArF干式光刻机，就已经很不正常了，再快就该拍科幻片了。” 陆飞笑道：“落后不可怕，可怕的是不追赶，你看我们现在，已经步入正轨了。” “可不是嘛，快赶上小霓虹了！” 孙红军嘿然一笑。 就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能，在光刻机路线上，不去梭哈湿刻法，而是全力押注干刻法，却失败了，白白耗费人力财力时间。 今后，逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场，先干翻了小霓虹！ “所以啊，尹教授，我知道你很急，但你先别急，ArFi会有的，EUV也会有的！” 陆飞环顾四周，激励士气。 “陆总！” 尹志尧郑重地点了下头，他作为中微半导体的领军人，非常清楚逻辑是两条腿走路，既跟微电子为首的单位合作ArFi光刻机，又跟长春光机为主的科研所研究EUV光刻机。 而且满世界找帮手，比如徕卡。 “老孙，这次的奖励方案做出来了嘛？” 陆飞侧目望向孙红军。 “已经拟出个初步方案，就等您来定。” 孙红军应了一声。 “嗯，但凡这次参与光刻机项目的，哪怕是拧了个螺丝的，也要多发奖金！” 陆飞双手叉腰，“65nm有了，还怕没有ArFi？没有EUV？接下来我们就向32nm、28nm，甚至28nm以下的发起冲击，不管是10年、20年，还是多长时间，也要搞出来！把这颗工业明珠给我摘下来，当弹珠卖！” “我就是怕耽误了先进制程工艺的进程，毕竟我们买不到最先进的DUV光刻机。” 尹志尧脸上露出一丝愧疚。 “梁博士，你的意思呢？” 陆飞把目光投向梁孟松。 “陆总放心，难度肯定是有的，但我可以保证，32nm，今年下半年就能风险性试产。” 梁孟松话锋一转，说出难题。 芯片代工制造的过程非常复杂，需要多方面的技术和设备支持，就像14nm是个关键的分界线，28nm也是个关键的分界线。 但设备还不是他最担心的，他最担心的是中芯被台积电打倒之后，下一个就轮到逻辑。 “这种情况我不是没有考虑。” 陆飞摆了摆手：“所以才把逻辑、澎拜的三分之一的产能放在台积电，就是让章忠谋顾虑，既想对付我们，又怕失去我们的订单。” “可按我对章忠谋的了解，肯定不会善罢甘休。”梁孟松忧心道，“另外还有三星……” 陆飞笑道：“梁博士，三星现在的技术负责人还是蒋尚义，哪怕拿到了EUV光刻机，你觉得他有这个能力带领三星冲击制程吗？” “没有！” 梁孟松想也不想，“没这个可能！” “对嘛，就连40/45nm工艺，三星还是靠我们，很难说不会又在一个节点上卡住，难以突破。”陆飞严肃说，“这么一比，台积电才是我们最大的敌人！不管现在，还是将来！” “台积电那边计划今年过渡到32nm，然后最早在明年转向28nm，我们的进度并不比台积电慢。”梁孟松自信满满。 “梁博士，假如，我是说假如，假如没有最先进的代工厂给逻辑造芯片，假如逻辑还造不出比较先进的光刻机，假如……” 陆飞把前世华为遭到的打压说了一遍。 “陆总，这种极限施压情况下，也不是没有办法，可以考虑多重曝光技术。” 梁孟松沉吟片刻，一一列出优缺点。 尤其是缺点，虽然经过多重曝光工艺，可以改变光刻机的制程极限，但良品率低。 而且每次曝光都需要校准，而对准误差会在多次曝光中积累，进而影响芯片的质量。 “除了损耗，就是成本，多次曝光需要更多的光刻胶、耗材和设备，这个投入可能……” 不等梁孟松往下说，孙红军突然打断。 陆飞和他相视一笑，光刻机的光刻胶等材料，早就纳入备胎计划。 “梁博士、尹教授，我们已经投资了博康化学等十几家公司，研发攻克光刻胶这些重要材料。”孙红军笑说，“而且找了德国的明斯特、亚琛工业等多家高校，跟我们国内的科研院校，合力打破霓虹这方面的优势。” “啊？” 梁孟松和尹志尧面面相觑。 “这是公司的绝密，注意保密。” 陆飞郑重地叮嘱，现在需要偷偷摸摸地发育，特别是光刻机，最缺的就是发育时间。 “陆总，孙总，你们放心！” 梁孟松信誓旦旦地保证，就算台积电、三星的光刻机领先逻辑，哪怕制程工艺先突破28nm，甚至20nm也无妨，他能想办法从28nm，跨越22nm、20nm，直接到14nm。 把因为光刻机设备和技术封锁而落后的代差跟时间，统统给追回来！ “是不是又要跳代？” 陆飞把眼睛眯成一条缝。 梁孟松点头说：“只要尹总能造出28nm光刻机就够了，别是14nm，就是7nm，我也能你们给搓出来！把光刻机上的劣势给扳回来！就是不知道陆总敢不敢再跟我拼一次？” “有什么不敢？” “拼，只管给我拼！不要给我心疼钱，我最不怕花钱，但最怕你们不花钱。”陆飞睨了眼孙红军，“老孙，除了德国，霓虹那边也盯紧点，特别是佳能、尼康的动静。” “尼康那边好像认命了，倒是佳能，选择了另一条道路，研究纳米压印。” 孙红军也说不出个所以然。 陆飞让他再探再报，跟进佳能的NIL路线，然后冷不丁来一句，“光刻厂有没有搞头？” “什么？！” 梁孟松等人一脸震惊。 光刻厂？ 只听过光刻机，光刻厂是什么东西？ “咳咳，我是这么想的，ASML的光刻机，为了卖出去，才要小型化、产品化、量产化，这个难度很大，但如果我们把光刻机不做小，而是当基础设施来盖，比如一个足球场大小，是不是可以弥补光源、镜片这些问题？” 陆飞看他们一脸茫然，于是换种说法。 相当于造不出热水器，就建个锅炉房，然后接水龙头，一次性接十几个，能放出428nm、14nm、7nm这些不同温度的水。 “这个提法，我好像在哪里听过……” 梁孟松吸了一口气，思索了片刻，突然灵光一现，“对，水木！水木大学有篇论文！” “真有？” 孙红军、尹志尧简直不敢相信。 “不过只是一个概念，叫稳态微聚束加速器光源，也叫SSMB。”梁孟松解释说，“我关注这个，还是因为提出这个概念的教授，是杨振柠先生的弟子，可行性还有待检验。” “只要有可能，就值得投资。” 陆飞计划去趟水木大学，顺便把自己存那里一直没时间取的EMBA硕士证书给领了。 “陆总，在这之前，我们是不是先去见见章汝京？章总一直在等您从香江回来。” 孙红军提醒了句，年初中芯跟台积电长达六七年的国际诉讼，达成和解，但作为条件之一，章汝京不得不被迫辞职，离开中芯。 “Emmm，见，必须见！” 陆飞叮嘱安排两人见面的行程计划。 有个项目，非他这位老帅不可！